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天得一自研干式吸附設(shè)備（Dry Scrubber），設(shè)備內(nèi)置公司自主研發(fā)生產(chǎn)的高效吸附劑，可根據(jù)廢氣組分定制化匹配吸附劑類(lèi)型。設(shè)備專(zhuān)業(yè)處理Cl?、HCl、HF、PH?、SiF?、NH?、AsH?等有毒有害工業(yè)廢氣，廢氣凈化效率高達(dá) 99.9%。天得一專(zhuān)研吸附劑可精準(zhǔn)吸附廢氣中有害成分，反應(yīng)生成穩(wěn)定固態(tài)化合物，牢牢鎖定于吸附劑內(nèi)部，實(shí)現(xiàn)干式高效無(wú)害化治理。

1. 工藝安全性高：全干式、無(wú)廢水、無(wú)明火工藝，從根本上杜絕了危險(xiǎn)氣體與水接觸或燃燒的風(fēng)險(xiǎn)；
2. 程序安全性高：采用自動(dòng)化控制，進(jìn)行溫度、出入口壓力、濃度監(jiān)測(cè)，聯(lián)動(dòng)擴(kuò)撒、降溫、報(bào)警、停機(jī)等多重安全聯(lián)鎖，確保全程受控；
3. 定制化高效凈化：針對(duì)不同特氣定制化設(shè)計(jì)吸附劑，凈化效率可高達(dá)99.9%；
4. 節(jié)能低碳運(yùn)行：設(shè)備運(yùn)行不消耗水，且電耗極低，符合綠色低碳的運(yùn)營(yíng)目標(biāo)；
5. 耐腐蝕：采用強(qiáng)化防腐設(shè)計(jì)，具有優(yōu)良的耐腐蝕性能；
6. 智控孿生賦能：融合數(shù)字孿生與集中智制優(yōu)勢(shì)，通過(guò)感知矩陣、多維交互、場(chǎng)景化智控等技術(shù)，實(shí)現(xiàn)設(shè)備全生命周期深度賦能；
7. 全生命周期成本最優(yōu)：采用天得一研制的吸附劑，高效、使用壽命長(zhǎng)，在保證性能的同時(shí)顯著降低耗材更換頻率與綜合成本。

適用于Semi、FPD、Solar、LED、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)中IMP、Etch、MOCVD、CVD等工序產(chǎn)生的廢氣治理。