產(chǎn)品中心
匠心制造 安全高效 節(jié)能低碳
水洗設(shè)備
半導(dǎo)體、光伏電池生產(chǎn)過(guò)程中，擴(kuò)散、LPCVD、PECVD、MOCVD、刻蝕、外延等工序會(huì)產(chǎn)生 Cl?、HCl、HF、NH?等強(qiáng)腐蝕性酸堿廢氣，需專(zhuān)業(yè)高效治理。天得一自主研發(fā)水洗設(shè)備（Wet Scrubber），通過(guò)六級(jí)及以上多級(jí)水洗結(jié)構(gòu)，讓廢氣與水充分接觸吸收，廢氣凈化效率 99% 以上。設(shè)備可單獨(dú)處理泛半導(dǎo)體行業(yè)酸堿廢氣，也可作為后端處理單元，高效去除燃燒處理后產(chǎn)生的 SiO?、HF 等二次污染物。
1. 高效：采用六級(jí)噴淋水洗室+一級(jí)綜合除霧室，凈化效率可高達(dá)99%；
2. 自動(dòng)化：設(shè)備配置西門(mén)子PLC人機(jī)界面，自動(dòng)/手動(dòng)兩種運(yùn)行模式；
3. 節(jié)能低碳運(yùn)行：設(shè)備運(yùn)行電耗低、廢水量少，符合綠色低碳的運(yùn)營(yíng)目標(biāo)；
4. 耐腐蝕：采用強(qiáng)化防腐設(shè)計(jì)，具有優(yōu)良的耐腐蝕性能；
5. 智控孿生賦能：融合數(shù)字孿生與集中智制優(yōu)勢(shì)，通過(guò)感知矩陣、多維交互、場(chǎng)景化智控等技術(shù)，實(shí)現(xiàn)設(shè)備全生命周期深度賦能。
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序號(hào) |
型號(hào) |
配電功率 |
處理流量 |
處理效率 |
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1 |
TDY-WS-600S |
2kw |
500-800slm |
99% |
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2 |
TDY-WS-1500S |
3kw |
800-2000slm |
99% |
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3 |
TDY-WS-3000S |
4kw |
2000-4000slm |
99% |
適用于半導(dǎo)體與光伏電池生產(chǎn)的擴(kuò)散（Diffusion）、低壓化學(xué)氣相沉積（LPCVD）、等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積（PECVD）、金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積（MOCVD）、刻蝕（Etch）、外延（EPI）等關(guān)鍵工序產(chǎn)生的廢氣治理。
