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半導(dǎo)體、光伏生產(chǎn)中擴散、PECVD/MOCVD、刻蝕、外延等工序，會產(chǎn)生 H?、SiH?、HCl、TEOS、CO、CH?、C?H?、SiCl?等易燃易爆廢氣，需高效穩(wěn)定治理。天得一自研電熱水洗設(shè)備（Heat Wet Scrubber），為傳統(tǒng)濕式洗滌升級款，專門處理常溫難溶、易結(jié)晶半導(dǎo)體特氣。設(shè)備采用電加熱高溫裂解燃燒 + 高效水洗組合工藝，處理 1000℃內(nèi)可分解特氣，廢氣凈化效率高達 99.9%，尾氣穩(wěn)定達標(biāo)國家排放標(biāo)準(zhǔn)。

1. 安全穩(wěn)定：采用自動化控制，進行溫度、壓力、流量、液位等監(jiān)測，聯(lián)動擴撒、調(diào)溫、降溫、報警、停機等多重安全聯(lián)鎖，確保全程受控；
2. 高效凈化：針對不同特氣定制化設(shè)計，凈化效率可高達99.9%；
3. 旋流緩沖：設(shè)備增加旋流緩沖，過渡溫降，防止粉塵堆積；
4. 耐腐蝕：采用強化防腐設(shè)計，具有優(yōu)良的耐腐蝕性能；
5. 智控孿生賦能：融合數(shù)字孿生與集中智制優(yōu)勢，通過感知矩陣、多維交互、場景化智控等技術(shù)，實現(xiàn)設(shè)備全生命周期深度賦能。

適用于半導(dǎo)體與光伏生產(chǎn)的擴散（Diffusion）、化學(xué)氣相沉積（PECVD/MOCVD）、刻蝕（Etch）、外延（EPI）等關(guān)鍵工序中，產(chǎn)生H2、SIH4、HCL、TEOS、CO、CH4、C2H6、SiCl?等多種易燃易爆廢氣治理。