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芯片、光伏、LED行業(yè)GaN、MOCVD制程，會產(chǎn)生高濃度氫氣、氨氣廢氣，易引發(fā)安全隱患，同時造成車間臭氣超標，是泛半導體行業(yè)重點治理難題。針對氫氨廢氣治理需求，天得一自研電熱水冷設(shè)備（HC Scrubber），專屬適配氫氣、氨氣廢氣處理。設(shè)備采用電加熱高溫裂解+高溫燃燒+多級冷凝核心工藝，先裂解氨氣、再充分燃燒廢氣，最后經(jīng)多級冷凝深度凈化，廢氣凈化效率高達99.9%，尾氣穩(wěn)定達標，徹底解決泛半導體生產(chǎn)線氫氨廢氣超標及安全隱患問題。

1. 安全穩(wěn)定：采用自動化控制，進行溫度、壓力、流量等監(jiān)測，聯(lián)動擴撒、調(diào)溫、降溫、報警、停機等多重安全聯(lián)鎖，確保全程受控；
2. 高效凈化：針對氫氣和氨氣定制化設(shè)計，凈化效率可高達99.9%；
3. 無廢水產(chǎn)生：設(shè)備無水洗單元，僅使用循環(huán)冷卻水，不產(chǎn)生廢水；
4. 耐腐蝕：采用強化防腐設(shè)計，具有優(yōu)良的耐腐蝕性能；
5. 智控孿生賦能：融合數(shù)字孿生與集中智制優(yōu)勢，通過感知矩陣、多維交互、場景化智控等技術(shù)，實現(xiàn)設(shè)備全生命周期深度賦能。

適用于在芯片、光伏、LED等生產(chǎn)過程中，GaN、MOCVD（金屬有機化學氣相沉積）等工序產(chǎn)生的高濃度氫氣和氨氣廢氣治理。