硅烷燃燒水洗塔
太陽能電池、集成電路高端制造中,PECVD工序產(chǎn)生硅烷 (SiH?)、氨氣 (NH?)廢氣,硅烷易自燃爆炸,氨氣有毒有刺激性,存在安全與污染隱患。天得一自研硅烷燃燒水洗塔(Si/O/W),由燃燒、吸收、清灰系統(tǒng)組成,采用高效燃燒 + 多級吸收工藝,凈化效率高達 99.99%,先通過燃燒將硅烷氧化為二氧化硅粉末,同步處理氫氣、磷烷;再經(jīng)多級水洗完成冷卻、除塵、中和、吸收,實現(xiàn)深度達標凈化。
1. 安全性高:采用自動化控制,進行溫度、壓力監(jiān)控,采用氮氣保護和泄爆裝置,確保設(shè)備安全穩(wěn)定運行;
2. 超高凈化效率:根據(jù)廢氣特性定制設(shè)備功能,采用高效燃燒+多級吸收的協(xié)同設(shè)計,凈化效率可高達99.99%;
3. 結(jié)構(gòu)設(shè)計精巧:流程化布局燃燒室、均壓室、氮氣保護室及多級洗滌室,結(jié)構(gòu)緊湊,氣流通暢,實現(xiàn)處理效率最大化;
4. 節(jié)能低碳運行:利用硅烷自燃熱值,不需要外加燃料,且電耗極低,符合綠色低碳的運營目標;
5. 智控孿生賦能:融合數(shù)字孿生與集中智制優(yōu)勢,通過感知矩陣、多維交互、場景化智控等技術(shù),實現(xiàn)設(shè)備全生命周期深度賦能。
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序號 |
型號 |
高度 |
直徑 |
處理效率 |
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1 |
TDY-OWS-1 |
1980mm |
300mm |
99.99% |
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2 |
TDY-OWS-2 |
2000mm |
400mm |
99.99% |
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3 |
TDY-OWS-3 |
2300mm |
600mm |
99.99% |
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4 |
TDY-OWS-4 |
2300mm |
800mm |
99.99% |
適用于太陽能電池、集成電路等高端制造中,PECVD(等離子增強化學氣相沉積)等關(guān)鍵工序會產(chǎn)生硅烷(SiH?)和氨氣(NH?) 等廢氣治理。