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硅烷燃燒水洗塔

產(chǎn)品概述

太陽能電池、集成電路高端制造中,PECVD工序產(chǎn)生硅烷 (SiH?)、氨氣 (NH?)廢氣,硅烷易自燃爆炸,氨氣有毒有刺激性,存在安全與污染隱患。天得一自研硅烷燃燒水洗塔(Si/O/W),由燃燒、吸收、清灰系統(tǒng)組成,采用高效燃燒 + 多級吸收工藝,凈化效率高達 99.99%,先通過燃燒將硅烷氧化為二氧化硅粉末,同步處理氫氣、磷烷;再經(jīng)多級水洗完成冷卻、除塵、中和、吸收,實現(xiàn)深度達標凈化。

產(chǎn)品特點

1. 安全性高:采用自動化控制,進行溫度、壓力監(jiān)控,采用氮氣保護和泄爆裝置,確保設(shè)備安全穩(wěn)定運行;
2. 超高凈化效率:根據(jù)廢氣特性定制設(shè)備功能,采用高效燃燒+多級吸收的協(xié)同設(shè)計,凈化效率可高達99.99%;
3. 結(jié)構(gòu)設(shè)計精巧:流程化布局燃燒室、均壓室、氮氣保護室及多級洗滌室,結(jié)構(gòu)緊湊,氣流通暢,實現(xiàn)處理效率最大化;
4. 節(jié)能低碳運行:利用硅烷自燃熱值,不需要外加燃料,且電耗極低,符合綠色低碳的運營目標;
5. 智控孿生賦能:融合數(shù)字孿生與集中智制優(yōu)勢,通過感知矩陣、多維交互、場景化智控等技術(shù),實現(xiàn)設(shè)備全生命周期深度賦能。

技術(shù)參數(shù)

序號

型號

高度

直徑

處理效率

1

TDY-OWS-1

1980mm

300mm

99.99%

2

TDY-OWS-2

2000mm

400mm

99.99%

3

TDY-OWS-3

2300mm

600mm

99.99%

4

TDY-OWS-4

2300mm

800mm

99.99%

應用領(lǐng)域

適用于太陽能電池、集成電路等高端制造中,PECVD(等離子增強化學氣相沉積)等關(guān)鍵工序會產(chǎn)生硅烷(SiH?)和氨氣(NH?) 等廢氣治理。

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