天域半導(dǎo)體碳化硅基地廢氣治理
碳化硅外延片在生產(chǎn)過程中外延檢修、清洗、供應(yīng)間廢氣，廢氣成分主要為非甲烷總烴、多種酸霧、氨氣等，采用預(yù)處理+兩級活性炭深度吸附和酸堿塔吸收治理工藝。
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泛半導(dǎo)體行業(yè)廢氣治理解決方案
芯片晶圓酸堿 VOCs 廢氣一站式處理方案
方案概述
泛半導(dǎo)體行業(yè)涵蓋原材料、設(shè)備、芯片、顯示、光伏、照明等全產(chǎn)業(yè)鏈，廢氣主要產(chǎn)生于電子化學(xué)品生產(chǎn)、CVD、刻蝕、清洗、顯影等工序，污染物包含酮醇烴類 VOCs、酸堿廢氣、氟化物、氯化氫、氨、硅烷、磷化氫、砷化氫、PFCs 特氣及各類惰性氣體，具有高毒有害、成分復(fù)雜、濃度波動大等特點(diǎn)，是行業(yè)環(huán)境安全管控的核心。泛半導(dǎo)體廢氣治理存在多重難點(diǎn)：廢氣含自燃、劇毒、強(qiáng)腐蝕特種氣體與酸堿、VOCs 混合污染物，處理難度極高；系統(tǒng)對密封性、防爆性、運(yùn)行可靠性要求嚴(yán)苛；需焚燒、洗滌、吸附、回收多工藝精密協(xié)同，設(shè)計容錯率極低，需專業(yè)精密化治理方案實現(xiàn)高危廢氣無害化轉(zhuǎn)化。
干式吸附設(shè)備（Dry Scrubber）
泛半導(dǎo)體生產(chǎn)中，離子注入、刻蝕、MOCVD、CVD等核心工序，會產(chǎn)生Cl?、HCl、HF、PH?、SiF?、NH?、AsH?等劇毒、強(qiáng)腐蝕、濃度波動大的特種工藝廢氣。我司采用自研干式吸附設(shè)備（Dry Scrubber），搭配定制化高效吸附劑，凈化效率可達(dá) 99.9%；有害氣體被吸附固化為穩(wěn)定固態(tài)物質(zhì)，尾氣匯入多級酸堿洗滌 + 吸附中央處理系統(tǒng)深度凈化。該干式吸附治理方案安全可靠：全干式無廢水、無明火，規(guī)避燃爆風(fēng)險；搭載多重安全聯(lián)鎖與自動化監(jiān)測；吸附劑按需定制，凈化性能優(yōu)異；具備節(jié)能低碳、防腐耐用、數(shù)字孿生智控等優(yōu)勢，吸附劑壽命長，有效降低泛半導(dǎo)體廢氣治理綜合運(yùn)維成本。
水洗設(shè)備（Wet Scrubber）
半導(dǎo)體與光伏電池生產(chǎn)中，擴(kuò)散、LPCVD、PECVD、MOCVD、刻蝕、外延等工序，會產(chǎn)生Cl?、HCl、HF、NH?等強(qiáng)腐蝕性酸堿廢氣，需高效凈化處理。針對該類廢氣，我司自研水洗設(shè)備（Wet Scrubber），采用六級及以上多級水洗室，讓廢氣與洗滌液充分接觸，凈化效率達(dá) 99% 以上；可單獨(dú)處理酸堿廢氣，或作為后端單元去除燃燒后SiO?、HF等二次污染物，尾氣匯入多級酸堿塔 + 吸附中央系統(tǒng)深度治理。水洗設(shè)備配置噴淋水洗 + 除霧結(jié)構(gòu)，搭載 PLC 智能控制系統(tǒng)，支持自動 / 手動運(yùn)行；具備防腐耐用、電耗低、廢水少、低碳節(jié)能優(yōu)勢，融合數(shù)字孿生智控技術(shù)，實現(xiàn)設(shè)備全生命周期精細(xì)化管理，適配泛半導(dǎo)體廢氣治理嚴(yán)苛工況。
電熱水洗設(shè)備（Heat Wet Scrubber）
半導(dǎo)體與光伏生產(chǎn)的擴(kuò)散、PECVD、MOCVD、刻蝕、外延等工序，會產(chǎn)生H?、SiH?、HCl、TEOS、CO、CH?等易燃易爆特氣廢氣，需安全穩(wěn)定治理。針對此類廢氣，我司自研電熱水洗設(shè)備（Heat Wet Scrubber），專為難溶、易結(jié)晶半導(dǎo)體特種氣體設(shè)計；通過高溫裂解燃燒 + 高效水洗深度處理，可分解 1000℃以內(nèi)可裂解特氣，凈化效率達(dá) 99.9%，尾氣接入多級酸堿塔 + 吸附中央系統(tǒng)達(dá)標(biāo)排放。設(shè)備搭載多重安全聯(lián)鎖與自動化監(jiān)測，可定制適配不同特氣；內(nèi)置旋流緩沖結(jié)構(gòu)防粉塵堆積，采用強(qiáng)化防腐材質(zhì)；結(jié)合數(shù)字孿生智控技術(shù)，實現(xiàn)全生命周期管控，滿足泛半導(dǎo)體廢氣治理高安全、高可靠要求。
電熱水冷設(shè)備（HC Scrubber）
芯片、光伏、LED行業(yè)GaN、MOCVD等制程，會產(chǎn)生高濃度氫氣、氨氣廢氣，存在易燃易爆、臭氣超標(biāo)等安全隱患。針對該類工況，我司自研電熱水冷設(shè)備（HC Scrubber），專為氫氣、氨氣治理定制；通過電加熱裂解 + 高溫燃燒 + 多級冷凝處理廢氣，凈化效率可達(dá) 99.9%，尾氣匯入多級酸堿塔 + 吸附中央系統(tǒng)深度達(dá)標(biāo)。設(shè)備搭載自動化監(jiān)測與多重安全聯(lián)鎖，全程可控；采用循環(huán)冷卻水、無廢水排放，防腐耐用；融合數(shù)字孿生智控技術(shù)，實現(xiàn)設(shè)備全生命周期精細(xì)化管理，適配泛半導(dǎo)體廢氣治理高安全標(biāo)準(zhǔn)。
等離子水洗設(shè)備（Plasma Wet Scrubber）
半導(dǎo)體與顯示面板制造的擴(kuò)散、刻蝕、化學(xué)氣相沉積等工序，會產(chǎn)生CF?、NF?等全氟化合物（PFCs）。該類氣體化學(xué)鍵穩(wěn)定、極難降解，是泛半導(dǎo)體行業(yè)重點(diǎn)治理難題。針對PFCs 廢氣治理痛點(diǎn)，我司自研等離子水洗設(shè)備（Plasma Wet Scrubber），采用等離子裂解 + 濕式吸收兩段式工藝。通過低溫等離子體高能電子轟擊斷裂 C-F 強(qiáng)化學(xué)鍵，配合自由基氧化徹底降解穩(wěn)定廢氣，高溫反應(yīng)分解污染物后，再經(jīng)濕式洗滌塔深度凈化，凈化效率可達(dá) 99.9% 以上，可替代適配常規(guī)電熱水洗工況，處理后尾氣接入多級酸堿塔 + 吸附中央處理系統(tǒng)達(dá)標(biāo)排放。設(shè)備搭載全自動監(jiān)測系統(tǒng)，聯(lián)動多重安全聯(lián)鎖，全程可控運(yùn)行；采用強(qiáng)化防腐材質(zhì)、適配復(fù)雜腐蝕工況；融合數(shù)字孿生智控技術(shù)，實現(xiàn)設(shè)備全生命周期智能管控，高效解決泛半導(dǎo)體 PFCs 廢氣治理難題。
硅烷燃燒水洗塔
太陽能電池、集成電路等高端制造中，PECVD工序會產(chǎn)生硅烷（SiH?）、氨氣（NH?）廢氣。其中硅烷遇空氣易自燃、爆炸，氨氣具備強(qiáng)刺激性與毒性，存在極大安全隱患與環(huán)保風(fēng)險，需定制化高效治理。針對硅烷、氨氣廢氣治理需求，我司自研硅烷燃燒水洗塔，采用高效燃燒 + 多級吸收核心工藝，集成燃燒、吸收、清灰系統(tǒng)，廢氣凈化效率高達(dá)99.99%。
1、高效燃燒分解含硅烷、氫氣、磷烷的廢氣進(jìn)入燃燒室，利用硅烷自燃特性充分氧化分解，生成穩(wěn)定二氧化硅粉塵，同步徹底凈化各類可燃危險廢氣組分。
2、多級洗滌吸收燃燒后的高溫尾氣含粉塵、殘留氨氣等污染物，進(jìn)入多級水洗塔，通過氣液逆流充分接觸，完成冷卻、除塵、中和、吸收四重深度凈化，尾氣接入中央處理系統(tǒng)達(dá)標(biāo)排放。
硅烷燃燒水洗塔搭載全自動溫控、壓控系統(tǒng)，配置氮?dú)獗Ｗo(hù)、泄爆裝置，安全系數(shù)極高；無需外加燃料、能耗極低，綠色低碳；設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊、處理風(fēng)場穩(wěn)定；結(jié)合數(shù)字孿生智控技術(shù)，實現(xiàn)設(shè)備全生命周期智能運(yùn)維，完美適配光伏、半導(dǎo)體高危工藝廢氣治理工況。
